標(biāo)定干涉儀可用于15米以的測(cè)量范圍,專為高精度測(cè)量定位軸的長(zhǎng)度、角度和直線度。同時(shí)還可以實(shí)現(xiàn)水平和垂直軸的直線度以及光學(xué)旋轉(zhuǎn)角度的測(cè)量。干涉儀使用同步5軸測(cè)量系統(tǒng)使這一切成為可能。
測(cè)量系統(tǒng)所使用反射鏡組是一組空心反射鏡和一個(gè)可旋轉(zhuǎn)沃拉斯頓棱鏡的組合。其他配件還包括用于檢測(cè)平直度的鏡子和用于檢測(cè)90°偏轉(zhuǎn)的鏡子。
· 同步實(shí)現(xiàn)超高精度測(cè)量三通道長(zhǎng)度、俯仰偏擺角度及直線度的測(cè)量
· 測(cè)量快速、簡(jiǎn)便、可靠
· 干涉儀測(cè)頭及反光鏡角度可調(diào)整
· 干涉儀測(cè)頭及光束方向便于進(jìn)行整體調(diào)節(jié)
· 三個(gè)測(cè)量通道使用一致的激光頻率進(jìn)行測(cè)量
· 可實(shí)現(xiàn)高精度的角度測(cè)量
· 高精度校準(zhǔn)測(cè)量軸、機(jī)械工具以及坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器
· 可作為激光干涉測(cè)量的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)
· 高精度同步測(cè)量長(zhǎng)度及角度
· 差動(dòng)式測(cè)量
工作原理: